LNZ UMLC – инспекционный микроскоп для исследования кремниевых пластин и фотошаблонов. Оснащен большим предметным столом для работы в проходящем и отраженном свете, поляризацией, ДИК контрастом. Поле зрения окуляров до FN25.Микроскоп LNZ UMLC оснащается план-полу апохроматическими объективами, обеспечивающими разрешение до 0,2 мкм при увеличении 100х, столиками для кремниевых пластин до 6” с диапазоном перемещения 158×158 мм по XY, с рукояткой для быстрого и высокоточного перемещения.
Эргономика
Эргономическое расположение инструментов фокусировки, настройки интенсивности света и ручки перемещения столика, позволяют оператору максимально сосредоточится на изучении объектов, а тринокулярный тубус, наклоненный под углом 25 градусов позволяет сидеть за микроскопом с прямой спиной.
Оптические решения
Тринокулярный тубус с разделением светового потока 100/0-0/100 между камерой и окулярами с полем зрения до FN25. Позволяет синхронизировать по фокусу изображение на камере и в окулярах не теряя при этом интенсивность на призмах деления светового потока. Поток переключается, на камере не приходится завышать значения светочувствительности.
Высококачественные металлографические планахроматические или план-полу апохроматические объективы для работы в светлом/темном поле обладают повышенным рабочим расстоянием и четким изображением по всему полю зрения.
Объективы с увеличенным рабочим отрезком позволяют наблюдать декорпусированные объекты, а также кристаллы распаянные на корпус.
Штатив с низким центром тяжести, устойчивый к вибрациям.
Штатив микроскопа LNZ UMLC позволяет достигнуть неподвижность оптической системы относительно объекта исследования, благодаря жесткому корпусу с низким центром тяжести.
Источники света, методики исследования
Микроскоп LNZ UMLC оснащен галогенным осветителем 12V/100W с регулировкой интенсивности света, переключателем между светлым и темным полем для отраженного света и светодиодной подсветкой для работы с фотошаблонами в проходящем свете.
С функцией наблюдения объектов в темном поле, а также поляризационной методикой исследования и ДИК контрастом, оператор может визуализировать царапины, неметаллические включения, трещины и другие дефекты поверхности образца. ДИК призма позволяет проводить визуальный контроль с рельефным контрастом на увеличении 100х, 200х и 500х. Призма универсальная для трех объективов.